半导体和光电机械设备

Mersen Boostec能够提供目前半导体和光机械设备所需的碳化硅超稳定结构

半导体与光电机械设备

BOOSTEC®碳化硅解决方案可用于需要超精密度的场合:

  • 半导体制造工艺过程
  • EUV光刻机
  • 先进的光学表面测量仪器
  • 超高真空
  • 科学设备

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