半导体工艺设备

ultra pure graphite Mersen
MOCVD expitaxy graphite tools Mersen
fine grain graphite Mersen
semicondutor equipment Mersen

半导体、复合半导体及光伏行业采用的高纯度石墨工具

取向附生及MOCVD:

对于薄膜沉积阶段如取向附生或MOCVD,美尔森提供超纯净石墨设备,用来支持基片或晶片。

作为这个过程的核心,该设备、外延感受器或卫星平台首先受到沉积环境的影响:

  • 高温。
  • 高真空。
  • 腐蚀性气态前驱体的使用。
  • 零污染,无剥离。
  • 清洗过程中耐强酸腐蚀

这些支撑是设计用来确保理想的沉积条件的。
 

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