硅片制造

purified graphite flat resistor Mersen
graphite heater DSS furnace Mersen
graphite heater CZ method Mersen

用于CZ拉拔器和DSS炉的高纯度石墨

美尔森提供可持续且高效的解决方案,保证晶片的纯度以及结晶期间对热区的控制。

美尔森还提供专用于该行业约束的设备和部件:

  • 纯石墨坩埚
  • 纯石墨加热器
  • 石墨或碳/碳复合材料的圆柱形过热保护
  • 用于控制晶体生长热梯度的软毡和刚性碳保温材料
  • 碳/碳复合螺纹紧固件
  • 石墨换热器

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