纯石墨：多晶硅制造

• 超纯石墨电极
• 超纯复合石墨加热器
• 大尺寸、超纯复合材料及石墨圆筒
• 纯净的刚性碳及柔性毡保温。
   

石英反应器腔室内包含非常薄的U型硅棒，安装在纯净的石墨电极上。石墨电极提供的电流促成硅棒发热。气态硅 SiHCl3（TCS）在高温下穿透沉积室并分解，在热棒上沉积纯硅。

当沉积过程完成后，将硅棒从反应器中取出并粉碎以回收多晶硅。

在反应器的石英腔内，硅微晶粒被排放到与硅烷相反的流向中。反应器和气体入口通过石墨加热器加热并且由刚性毛毡进行保温。硅烷分解成硅并使微晶粒膨胀。纯硅以珠状形式回收。

在沉积过程中，很大一部分气体转化为STC（SiCl4）。为了提高产量，必须在1500℃的高温加氢反应器中回收该STC为TCS。

由于美尔森的竞争力以及种类齐全的产品系列，可以为业界提供多种选择：

• 超纯石墨圆筒，直径可达1.5米。
• 延长使用寿命的特殊涂层。
• 由高性能纯净的刚性碳制成的绝热材料。
• 碳/碳复合加热器和板材。
• 美尔森绝缘流化床反应器