硅片制造工艺

rigid insulation cylinder Mersen
insulation CZ method Mersen
Calcoat insulation Mersen
insulation DSS system Mersen

用于直拉法CZ和定向凝固DSS炉的高温保温材料

美尔森提供可持续且高效的解决方案,保证晶片的纯度以及结晶期间对热区的控制。

美尔森还提供专用于该行业约束的设备和部件:

  • 纯石墨坩埚
  • 纯石墨加热器
  • 石墨或碳/碳复合材料的圆柱形过热保护
  • 用于控制晶体生长热梯度的软毡和刚性碳保温材料
  • 碳/碳复合螺纹紧固件
  • 石墨换热器

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