硅元素在地球上很常见。一个专门的行业正在将天然的硅氧化物转化为一种多晶并纯化的硅,叫做“多晶硅”。
首先,纯化工艺需要使用腐蚀性液体,比如盐酸。美尔森提供完全按需适应的工艺设备,如:
此外,颇为普及的西门子CVD工艺以及其他生产工艺都需要能经受1500℃高温条件的解决方案。美尔森已开发的专用解决方案都按需适应客户以下需求:
特种石墨
纯石墨:多晶硅制造