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美尔森为碳化硅晶体生长提供可持续和高效的解决方案。高纯度、合适的热膨胀系数，高热导率、耐腐蚀等性能可保证SiC晶圆的纯度和质量，并控制长晶过程中的热场。在外延设备中，美尔森提供用于支撑衬底或“晶圆”的超纯石墨部件。

美尔森晶圆载体在硅和碳化硅（SiC）外延中的特性：

热稳定性

美尔森晶圆载体的热稳定性强，在高温下保持结构完整和尺寸稳定，避免翘曲变形，使半导体在制造过程中保持一致。

耐腐蚀性

美尔森晶圆载体耐腐蚀性强，采用等静压石墨制成，能长时间保持完整性和性能。晶圆载体具有避免退化的特点，有助于保持外延层的纯度和质量。

耐久性

外延工艺中晶圆常面临着高温、腐蚀物和清洗，这会使不够坚固的材料发生退化。美尔森晶圆载体用坚固硅材料制成，具备耐久性好，能承受这些条件，并减少更换次数，有助于降低运营成本和提升制造效率。

高纯度

美尔森晶圆载体高纯度，防污染能力强，保障外延生长工艺中半导体层质量。采用严选石墨材料制成，降低污染风险，保持电学和物理特性

美尔森硬质保温材料CALCARB CBCF材料由数毫米长的人造丝纤维构成，这些纤维是相互连接在一个由碳化酚醛树脂构成的矩阵内。原材料会在真空环境下用超过2000℃的高温进行处理，使其在高温下具有稳定性和无气体挥发。

高保温性能

美尔森硬质保温材料CALCARB在高温状态下具有高保温性能，可帮助客户提升能源使用效率。用于调节材料的热特性的不同密度和等级的差异：

• 美尔森硬质保温材料CALCARB CBCF 14VF-2000提供更良好的保温性能
• 美尔森硬质保温材料CALCARB CBCF 18-2000或美尔森硬质保温材料CBCF 25-2000，可协调保温及透气性之间的平衡。

加工便捷

美尔森硬质保温材料CALCARB的加工远比其它高温保温材料便捷。它的均匀性，结合能够被加工成复杂形状的特性，可促成高温过程中对热梯度的准确掌控。标准尺寸为：

• 板材尺寸可达160毫米x1500毫米x1500毫米
• 圆筒尺寸可达直径1100毫米

腐蚀性环境中的耐受性高

美尔森已开发了一系列种类多样的工艺，旨在增强美尔森硬质保温材料CALCARB CBCF在腐蚀性环境中的耐受性：

• 热解碳渗透－CVI保护材料，减少气体的侵入。
• 美尔森硬质保温材料CALCARB特别使用了碳化硅SiC-CVI涂层以减少1000℃以上环境中硬毡被氢化的速度。
• 为了使气体具有不渗透性及减少因侵蚀产生的粉尘，美尔森硬质保温材料CALCARB的表面涂层可以采用石墨纸、石墨涂层和气相沉积CVD涂层工艺。

美尔森柔性石墨毡CALCARB是一种人造丝基材料，可作为真空炉或2000°C以上工艺温度环境中的使用材料。其宽度可达1.2米，并有不同的厚度可供选择。它通常可达2200°C以上的加工温度，并且可达总灰分含量低于20ppm的纯度。

美尔森柔性石墨毡CALCARB的几何适应性使其能够在多种系统设计中发挥绝缘作用，即使是较为复杂的形状。冲压工艺也可大量生产特定形状的美尔森柔性石墨毡。柔性石墨毡可以通过化学气相渗透（CVI）与碳结合并转化为自支撑结构来达到稳定。

美尔森柔性石墨毡CALCARB柔软且便于切割，易于适应弯曲半径小的应用。当高气体淬火速率产生振动时，柔性石墨毡可以提供解决方案。

美尔森柔性石墨毡具备以下特点：

• 达到3000°C
• 高纯度
• 无静电充电
• 热容量低
• 导热系数低
• 灵活度高

柔性石墨是由天然石墨薄片制成的一种高性能的材料，是密封应用的合适材料，美尔森已开发种类广泛的PAPYEX材料，以满足多种应用及大多数技术规范要求。该材料纤薄、易于裁剪，适用于SiC长晶炉的加热部件。该材料具有的热反射能力，能对SiC长晶炉进行热保护。

美尔森柔性石墨纸PAPYEX凭借专业品质，现已应用于化工、航空、半导体等众多行业领域。